光刻掩膜版的總體費用主要包含原材料費用以及相關設備機臺的使用費用，另外還有光刻掩膜版相關數據的使用軟件的購買以及授權等費用、相關的服務器費用、人工費等等。

光刻掩膜版的材料主要分為石英基材和蘇打基材，石英材料多是國外進口，價格較貴，蘇州硅時代電子科技有限公司（Si-Era），集高精度掩模版的設計、研發、制作與服務為一體，強大的生產力可實現三天交付,客戶提供質量更優,價格更廉,制版更快的貼心服務。