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| 類別 | 超高精度/高精度（228.6mm*228.6mm） | 中精度/低精度（228.6mm*228.6mm） | ||||||||
| 線縫尺寸 （μm） | 線縫精度 （μm） | 垂直度 （urad） | 總長精度 （μm） | 位置精度 （μm） | 線縫尺寸 （μm） | 線縫精度 （μm） | 垂直度 （urad） | 總長精度 （μm） | 位置精度 （μm） | |
| 石英 | ≥1 | ≤0.5 | ≤0.5 | ＜0.3 | ≤0.1 | ≥3 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 |
| 蘇打 | ≥1 | ≤0.5 | ≤0.5 | ＜0.3 | ≤0.1 | ≥3 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 |
| 類別 | 材質類型 | 圖形尺寸 LW（mm） | 厚度 （mm） | 最小線縫 （μm） | 線縫尺寸 （μm） | 光學密度 （OD） | 垂直度 （urad） | 總長精度 （μm） |
| 干版 | 蘇打玻璃 | 127~812.8 | 2.3/3.0/5.0 | >10 | ±1.5 | >5.0 | < 3 | ±4 |
| 菲林 | 合成樹脂 | 76.2~812.8 | 0.2 | >12 | ±2 | >5.0 | < 3 | ±5 |
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