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?掩膜版有多個名稱,也稱作光刻掩膜版、光罩、光刻版、掩膜基板、光掩模等等,是用來制作掩膜圖形的面板,常在芯片制作過程中使用,是圖形轉移的工具。
掩膜版的制作是有工程師自己設計圖形提交,光刻機進行掩膜版制作將圖形加工在掩膜版上,掩膜版制作完畢后通過曝光等工藝,將掩膜版上的圖形轉移至硅片或其他載體上,從而進行后續的加工工藝。
光刻掩膜版檢驗標準
制作光刻掩膜版用什么設備?
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