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掩膜版也被稱作是光刻版,用于光刻過(guò)程中,光刻是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵接部分,也是流程造價(jià)最高的一部分。
比較常見(jiàn)的光掩膜版種類有四種,分別是鉻版、干版,凸版、液體凸版四種,光掩膜版主要的構(gòu)成部分主要是分為兩類,一個(gè)是基板,一個(gè)是不透光材料?;逋ǔ6际怯墒⒉Aе谱鞫伞?/p>
掩膜版的制作和光刻膠的原理
制作光刻掩膜版用什么設(shè)備?
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