掩膜版的功能：它是制作掩膜圖形的理想感光性空白板、用曝光的過程，把圖形的信息傳遞到芯片上，這樣來制造芯片。目前掩膜版的作用十分廣泛，在涉及光刻工藝的行業均會用到掩膜版，例如：平板顯示器、集成電路等。

光刻膠的功能：它是通過紫外光、準分子激光、電子束、離子束、X射線等諸多光源的照射及輻射，使得其溶解度發生變化的耐蝕刻材料。光刻膠：有光化學敏感性，它經過曝光，顯影，刻蝕等工藝，可以將設計好的微細圖形從掩模版轉移到待加工基片中。