光刻掩膜版加工最小尺寸？

光刻版加工尺寸有多種，不同行業常用尺寸也不同。

IC（集成電路）行業專用光刻掩膜版，常用石英和蘇打3~14 inch的基材光掩模，制作精度覆蓋0.13um，0.18um，0.25um，0.35um，0.5um及以上芯片工藝節點（node），最小圖形制作高達0.5um，制作精度±0.03um，也可以根據客戶的具體需求進行定制加工。

光刻掩膜版的應用還包括光學器件編碼器等行業、FPC/MEMS(線路版、電子傳感器)行業、LCD（液晶顯示器）行業、Touch panel(觸摸屏）行業等等。