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目前光刻掩膜版的等級規格主要以尺寸、精度、以及基板材料為維度進行劃分。
光刻掩膜版常用的的基板材料有石英玻璃和蘇打玻璃,石英玻璃熱膨脹系數較小,但價格較為昂貴,蘇打玻璃熱膨脹系數較高,需要根據不同的光刻機及曝光參數進行特殊的修調,優點是價格低廉。
用什么打印光刻掩膜版
光刻掩膜版加工最小尺寸
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