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在制作芯片的過程中,需要經過很多次光刻,可能十幾次光刻,甚至幾十次光刻,每進行一次光刻工藝,就需要一塊光刻掩膜版,掩膜版的質量將會直接影響到光刻的質量。
所以不同的芯片,工藝流程不同,需要光刻的數量不同所需要的光刻掩膜版數量也就不同。
光刻掩膜版透不透光的影響
IC(集成電路)行業專用光學掩膜版
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