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光刻掩膜版的正反面區分其實很簡單,最簡單的方法就是拿到光學顯微鏡下觀察,有圖形的一面則為正面,反之沒有圖形的一面為反面,刻蝕的時候光刻版正面朝上。
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光刻掩膜版的維護
正性光刻膠和暗場掩膜版
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