掩膜版是轉(zhuǎn)移圖形的工具，光刻掩膜版的作用就是為了將電路信息圖形轉(zhuǎn)移到硅片或者玻璃襯底上，每個(gè)掩膜版所能夠繪制的電路信息圖形是有限的，而芯片制作需要很多不同的電路信息圖形，所以在芯片制作過(guò)程中需要很多塊掩膜版，每個(gè)掩膜版轉(zhuǎn)移完版上的圖形后，就不會(huì)再用到了，而且如果工藝驗(yàn)證過(guò)程中，有細(xì)微的差異，可能還需要光刻的版圖進(jìn)行調(diào)整，從而達(dá)到參數(shù)補(bǔ)償?shù)膯?wèn)題，那么原本制作的光刻半也不會(huì)再使用了，所以說(shuō)光刻掩膜版是光刻工藝中的消耗品。