制作光刻掩膜版需要使用相關軟件制作版圖。

　　制作版圖時，可以先使用ppt或者其他簡單的繪圖軟件設計pattern，在此基礎上，依據具體的圖形大小、間距，使用Coredraw、CAD、L-edit等矢量圖制作軟件再次準確繪制，獲得光刻掩膜版制造方需要的版圖格式文件。