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光刻是一門比較綜合的技術,它采用照相復印的技術,將光刻掩膜版上的圖形復制在涂有光刻膠的金屬蒸發層上。如果掩膜版受光刻膠污染,很大程度上會影響曝光,帶來負面影響,因此光刻過程中需要保持掩膜版的干凈。
光刻掩膜版清洗用什么拿
相位掩膜版制作工藝流程
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