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2022-03-26

　　光刻掩膜版的壽命有一個很大的變化范圍，通常介于1000-5000個曝光晶圓計數。　　在掩膜版的使用過程中，霧狀缺陷是影響掩膜版壽命的主要因素。...

2022-03-15

　　制作光刻掩膜版需要使用相關軟件制作版圖。　　制作版圖時，可以先使用ppt或者其他簡單的繪圖軟件設計pattern，在此基礎上，依據具體的圖形大...

2022-03-02

掩膜版的制作首先需要提供掩膜基板，常見的掩膜基板有石英和蘇打兩種材料。光刻過程則需要根據實際圖案選擇合適屬性的光刻膠，以完成曝光、顯影。 ...

2022-01-12

光刻掩膜版制作大概分為7個步驟：步驟一、在提供的掩膜基板上涂覆一層光刻膠；步驟二、對步驟一所述光刻膠進行曝光、顯影，形成光刻膠圖案；步驟...