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2021-07-24

光刻掩膜版的總體費用主要包含原材料費用以及相關設備機臺的使用費用，另外還有光刻掩膜版相關數據的使用軟件的購買以及授權等費用、相關的服務器費...

2021-07-24

目前掩膜版清洗常用的方法是使用氫氧化鉀溶液進行沖洗，然后再在掩膜版光學檢測設備中進行檢查，檢查結果不合適后再次投入氫氧化鉀溶液進行二次清洗...

2021-07-24

光刻掩膜版的制作最重要的設備就是光刻機，光刻機英文名稱Mask Aligner，又名光刻系統、曝光系統等，它采用激光直寫的方式，在光刻掩膜版上面進行圖...

2021-07-24

目前光刻掩膜版的等級規格主要以尺寸、精度、以及基板材料為維度進行劃分。光刻掩膜版常用的的基板材料有石英玻璃和蘇打玻璃，石英玻璃熱膨脹系數...